廣州潽拓光電科技有限公司——TV550Agilent分子泵維修改造
長(zhǎng)期存放不用不是的秘訣有客戶會(huì)認(rèn)為，長(zhǎng)時(shí)間停泵不用對(duì)分子泵的損耗會(huì)比較小。但是，分子泵長(zhǎng)時(shí)間停泵后，在表面張力和重力的作用下，軸承內(nèi)部的潤(rùn)滑脂可能會(huì)出現(xiàn)收縮成團(tuán)、分布不均勻等現(xiàn)象，反而會(huì)影響分子泵的壽命。為了減少軸承因長(zhǎng)期存放而造成的分布不均勻，安捷倫的分子泵控制器內(nèi)置了“軟啟動(dòng)”功能。如經(jīng)過(guò)運(yùn)輸或者停泵的時(shí)間超過(guò) 2 個(gè)月，可以使用軟啟動(dòng)功能啟動(dòng)分子泵，轉(zhuǎn)速以階梯方式緩慢加速，使得軸承潤(rùn)滑脂在低速階段有充分時(shí)間重新均勻分布。如果存放時(shí)間超過(guò) 10 個(gè)月，建議送回維修中心讓分子泵在的檢測(cè)平臺(tái)上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合軸承。
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StarCell 的設(shè)計(jì)使其成為能抽除大量惰性氣體的離子泵，該泵可以以速度和容量處理、氣和氦氣等惰性氣體。非蒸散型吸氣劑技術(shù)（NEG）是SAES集團(tuán)于上世紀(jì)七十年發(fā)的。非蒸散型吸氣劑對(duì)氫氣、水蒸氣、氮?dú)?、氧氣等活性氣體有很大的抽速，其通常與濺射離子泵、渦輪分子泵或者低溫泵等其他真空泵結(jié)合使用，以改善系統(tǒng)的極限真空或者減少抽氣時(shí)間。
渦輪分子泵內(nèi)有多組相間動(dòng)輪葉和定輪葉，每一個(gè)輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，如圖一所示。實(shí)際的渦輪分子泵都是由多級(jí)葉列串聯(lián)組成，即按動(dòng)片、定片、動(dòng)片等依次交替排列。動(dòng)葉片轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。提高分子泵的轉(zhuǎn)速，有利于提高分子泵的抽速。由于葉片轉(zhuǎn)速限制，如果氣體分子運(yùn)動(dòng)速度較大，泵抽真空就比較困難。
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近日，安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305，它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無(wú)油潤(rùn)滑等優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)，還擁有諸多全新的特點(diǎn)，此外，TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設(shè)計(jì)和制造方法所推出的一款真空產(chǎn)品。
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安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊，可以任意角度安裝，而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術(shù)可以補(bǔ)償輕微的系統(tǒng)振動(dòng)；對(duì)于一個(gè)緊湊便攜的系統(tǒng)而言，這些特點(diǎn)至關(guān)重要。
安捷倫擴(kuò)散泵特點(diǎn)一抽氣快（壓力降的快）與擴(kuò)散泵相比，前級(jí)泵（如羅茨泵）的抽速一般都會(huì)比較小，而且，在接近可以開(kāi)啟擴(kuò)散泵的壓力時(shí)其抽速又會(huì)很明顯的下降，所以這個(gè)壓力段是好多真空設(shè)備真空泵抽速的瓶頸。安捷倫擴(kuò)散泵的噴塔設(shè)計(jì)使其可以開(kāi)始抽氣的壓力和到達(dá)滿抽速的壓力都比較高，這樣，在前級(jí)泵抽速開(kāi)始下降的階段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空設(shè)備的壓力可以很多的下降。
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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
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擴(kuò)散泵工作時(shí)，從噴塔高速噴射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并從油池邊緣向中心流動(dòng)，在流動(dòng)的過(guò)程中，油的溫度逐漸升高，油中沸點(diǎn)比較低的小分子組分，在靠近油池邊緣的地方就會(huì)汽化，而沸點(diǎn)比較高的大分子組分，則會(huì)在靠近油池中心的地方汽化。一般的擴(kuò)散泵噴塔各級(jí)噴嘴之間是互相聯(lián)通的，而安捷倫擴(kuò)散泵的噴塔各級(jí)噴嘴彼此獨(dú)立，特別是噴塔，只有沸點(diǎn)高的大分子油蒸汽才會(huì)從這里噴出，這一特點(diǎn)不僅擴(kuò)散泵極限真空很好，而且由于高沸點(diǎn)的泵油更不容易二次揮發(fā)，使得泵的返油率很低。
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